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光刻机双工件台全球仅ASML造得出,华卓精科补齐光刻机最后一块拼图

22 09月
作者:无痕阅盘|分类:股海风云|标签:光刻机 朱煜 双工件台 华卓精科

           /YUXI 审核/子扬 校正/知秋

众所周知,荷兰的ASML公司在光刻机领域可谓一枝独秀。虽然ASML在生产光刻机过程中的很多零部件都需要依赖全球供应商,但有一核心部件,全球只有ASML造得出。

这便是光刻机双工件台,是光刻机的三大最核心组成部分之一。所谓双工件台,指的是光刻机当中用来承载晶圆的两个工作台额,而EUV光刻机对工作台的精度要求很高,因此,双工件台的生产具有较高的技术壁垒。

光刻机双工件台全球仅ASML造得出,华卓精科补齐光刻机最后一块拼图

在业界,光刻机的双工件台和EUV光源、光学镜头并称为光刻机的三大最核心组成部分。因此,为实现光刻机的国产化,国内企业便首先需要攻克光刻机的“三大件”。

根据央视的报道,国内已经完成了第一台高能同步辐射光源的安装,中科院研究团队也突破了光刻机光学镜头的研发,只剩下双工件台这最后一块拼图。

好在,中企华卓精科实现了这一突破, 补齐了国产光刻机重要的空白!

凤凰科技在917日的报道显示,华卓精科已经在科创板成功过会,有望成为国内的“光刻机第一股”。

公开资料显示,华卓精科的业务之一便是光刻机双工件台的研发。目前,华卓精科已经成为国产光刻机龙头上海微电子的供应商。借此,华卓精科成为国内第一家自主研发并量产光刻机双工件台的半导体企业。

据悉,华卓精科研发的双工件台,可以满足65nm及以上工艺节点光刻机的使用。而在这背后,是华卓精科团队近20年的努力。

中国科技新闻网的报道显示,2001年,当时正在清华大学进修博士的朱煜开始参与到国产光刻机的研发中。也是在那一年,ASML推出了极富创造性的Twinscan双工件台系统,震撼了业界。

当时的朱煜便立志,国内的半导体企业也要掌握如此尖端的技术。于是在2002年,朱煜团队取得了第一项光刻机双工作台专利,并在2008年实现了双工作台的核心——超精度微动台的研发。

到去年4月份,朱煜团队研发的65nm DWS双工件台成功向上海微电子发货。更值得庆祝的是,华卓精科已经开始进军适用于28nm工艺制程的DWSi系列双工件台。

不过,虽然如今的华卓精科已经是继ASML之后,全球第二家突破双工件台技术的半导体企业,但华卓精科与ASML之间的差距仍十分明显。

比如,虽然华卓精科的DWS系列产品与ASML的DUV光刻机双工件台处于同一架构,但性能方面却明显落后;而在EUV领域,华卓精科还没有产品推出。

虽然差距明显,但对于国产光刻机而言,华卓精科的上市无疑将极大提振业界信心。毕竟,ASML曾明确表示,自研的工件台并不会单独对外销售,华卓精科无疑撑起了国产光刻机工件台的希望。

而在华卓精科的带动下,国内企业也将加速在国产光刻机各个领域的突破。

光刻机双工件台全球仅ASML造得出,华卓精科补齐光刻机最后一块拼图

公司为国内首家,也是世界唯二可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商(双工件台,即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立,但同时运行,一个工件台上的晶圆做曝光时,另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后,两个工件台交换位置和职能,如此循环往复实现光刻机的高产能),主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。

华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术,是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商,致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。


  值得一提的是,联席主承销商中金公司是华卓精科的第八大股东,持股比例为3.06%。2019年3月,国家大基金一期子基金上海半导体装备材料基金出资4200万元参与了华卓精科的增资,现持有其2.08%的股权。


  国盛证券7月发布的研报表示,光刻机市场一直以来在全球设备市场中的比重都较高,具有较高技术难度,并且单台设备价值量也较高,属于半导体制造设备的“皇冠”。


  实控人是清华大学教授

  直接持股35.72%

  华卓精科的实控人是公司董事、核心技术人员、首席科学家朱煜,同时也是清华大学教授。


  根据介绍,朱煜为公司董事、核心技术人员、首席科学家,直接持有公司 8,573.29 万股股份,占公司总股数的 35.72%。朱煜为艾西科技和艾西博锐的普通合伙人、执行事务合伙人,艾西科技持有公司 5.19%股份,艾西博锐持有公司 0.26%股份。


  另外,徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣 7 名股东,合计持有 13.06%的公司股份,与朱煜保持一致行动关系。


  综上,朱煜实际控制的股份比例合计为 54.23%。朱煜为公司的控股股东、实际控制人,且报告期内朱煜实际控制人地位未发生变更。


  朱煜为1965 年 1 月出生,2001 年毕业于中国矿业大学,博士学历,机械设计及理论专业。1983 年 8 月至 2004 年 9 月任教于中国矿业大学,先后任讲师、副教授;2001 年 7 月至 2004 年 9 月,于清华大学从事博士后工作;2004 年 10月至今任清华大学教授。


    盈利规模尚小

  今年上半年亏损

  华卓精科依托于清华大学的技术积累,并通过“产学研用”模式,将学术成果转化为商用化产品,填补了中国光刻机工件台这一半导体核心部件的空白。


  报告期内,华卓精科营收有显著增长,不过规模并不大。2018年、2019年、2020年其营收分别为8570万元、1.21亿元和1.52亿元。净利润分别为1253万元、1512万元、2087万元,研发投入比分别为30.75%、96.33%、117.24%。


  2021年上半年净利润-1874万,较2019年亏损扩大 。


  招股书显示,2021年1-6月营收为6019.09万元,较2019年1-6月增长73.6%,主要系公司精密运动系统及激光退火设备销量增加所致。2021年1-6月净利润为-1874万元,较2019年1-6月亏损扩大。


  亏损主要系公司 2021 年 1-6 月研发人员、管理人员较同期大幅增加,导致研发人员薪酬及管理人员薪酬增幅较大,同时研发材料投入同比增加、办公大楼折旧费用增加也导致公司与上年同期相比亏损进一步扩大。

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        政府补助力度大

  补助比营收还高

  半导体领域属于国家大力支持的产业,政府补助力度也非常的大。报告期内,公司收到的政府补助分别为13,931.25万元、32,136.67万元和26,651.20万元。


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